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第44章 研制出一台真正的光刻机!

谭渊这还是第一次被邀请来到宋羽燃的家里。

他只觉得心脏怦怦直跳,一路上不由得开始胡思乱想起来。

这么晚了,师姐还让自己来到家里,是不是……想要和他干点什么?

她是不是……同意他的表白了?

是不是……终于想起自己是谁了?

毕竟,师姐小时候可是亲口答应过,长大以后要牵着他的手,跟他一起走进教堂的!

“谭渊,你在这里等一等。”

一进家门,宋羽燃便让谭渊在客厅里等一会儿,然后自己走进了里面的卧室。

很快,她就从卧室里走了出来,手里还拿着……一台笔记本电脑和一叠纸、一支笔。

“不好意思这么晚叫你上来,我想……你可不可以帮我讲解一下光刻机的工作原理?”

宋羽燃坐在谭渊的身边,有些为难地说道,“毕竟你是哈佛大学,物理学毕业的高材生,比我这个学计算机的要懂的多多了。”

谭渊站在原地,满脸的黑线……

原来,还是为了光刻机啊!

“怎么了?是不是……太晚了,你该休息了?”宋羽燃小心翼翼地开口。

谭渊无奈地叹了一口气。

“没有,当然可以的师姐。不过……这个光刻机可不是一时半会儿能讲完的,怎么也得个把小时,你……可以坚持的住么?”

“没问题,我平时睡得也比较晚!”宋羽燃欣然道。

宋羽燃家客厅没有沙发,只有一张不大的书桌,宋羽燃搬了两把椅子,与谭渊肩并肩坐在一起,将笔记本电脑和纸笔推到了他的面前,说道:“开始吧。”

谭渊点了点头,先是打开电脑,搜索出了阿斯麦公司的官方网页,点了进去,然后停在EUV光刻机的页面:

“其实,我在哈佛大学也不是研究光刻机这个方向的,不过我选修过光学原理这门课,正好那个老师教了我们光刻机的工作原理,所以我了解一些。”

“师姐你看,这台就是世界上最先进的光刻机,EUV光刻机。它的光源为极紫外光,波长为13.5纳米,这种EUV的光源,是通过高能激光轰击金属锡激发的等离子体产生的……”

谭渊一边说着,一边拿过一张白纸,在白纸上首先画出一道光波,然后又在下面写了EUV几个字。接着他继续说道:

“与EUV光源相对应的,是DUV光源,通常使用氟化氩激光(ArF),波长为193纳米,广泛应用于28纳米及以上的制程节点……”

夜渐渐深了。

窗外万籁俱寂,窗内,一盏暖黄色的灯光安静地亮着……

谭渊一边将,一边在纸上做着记录,不知不觉就写了四五页的纸,还在另外一张白纸上,工工整整地在画起光刻机的内部构造来。

宋羽燃则坐在谭渊身旁,认真地听着她的讲解。

这些知识对于她这个计算机系的女博士来说,实在是过于深奥,不过宋羽燃很聪明,在谭渊细致耐心的讲解下,很快便理解了其中的原理。

最后,随着谭渊纸上的那台光刻机的模型画完,宋羽燃终于恍然大悟,原来,光刻机的原理是这样的!

她也知道了为什么现在华国,还造不出像阿斯麦光刻机那样先进的光刻机,主要还是制造工艺和光源系统受限的问题。

“师姐,你还有什么问题么?”谭渊耐心地询问道。

“嗯,目前没有了。”宋羽燃嫣然一笑,“谢谢你,谭渊。我现在终于对光刻机有了全面的了解,你讲的真的棒!”

“那……”

谭渊抬起头,看了看墙上的时钟,已经指向了凌晨2点,他赶紧起身道:

“师姐,已经这么晚了,你赶紧休息吧,我就不打扰了!”

宋羽燃却不紧不慢说道:

“你困了吗?”

谭渊:……

不是,我倒是不困,可是你的身体也受不了啊!再说大半夜的,自己要是再不走,他真的要不自觉地想入非非了!

“我也有点困了,师姐,你早点休息吧。”

谭渊伸手拿过搭在衣架上的外套。

“等等,我还要跟你……”宋羽燃上前拉住了覃渊的手臂。

谭渊的心头猛地一悸,以为自己听错了,“师姐,你……是不是想要跟我……”

宋羽燃抿了抿唇,仿佛在心中下了某种决心似地,点了点头道。

“我想要跟你说一件事。”

谭渊:……

“师姐,你说吧。”

“你不是之前好奇,我父亲的屋里到底是什么样子么?我现在可以带你去看看,你想不想看?”

“宋伯伯?”

“嗯,他……生前的屋子。”

谭渊放下外套,脸色郑重了下来,回握住了宋羽燃的手,“好,师姐带我去看看吧。”

*

“啪嗒”一声,门锁打开。

宋羽燃推开了父亲宋嘉树房间的门,然后回过头,对谭渊说道:“进来吧”。

谭渊跟着宋羽燃的步伐,走进了房间。

只见这间房间比宋羽燃的卧室大了好多,应该有30几个平方。四周摆满了书柜,书柜上放着满满当当的书,中间是一张电脑桌,还有休息的沙发。角落里还摆放着几台老旧的设备。

谭渊认出,其中几台是晶圆制备的设备,在燃芯实验室中也有类似的设备。而靠近阳台的一角,摆放着最大的一台设备,机箱是一个巨大的长方形,上面连接着很多的操作杆,如同一只巨大的八爪鱼一样。

谭渊的瞳孔猛然一缩。

“光刻机?!”

宋羽燃摇了摇头。

“那不是光刻机,只是一台简易的激光雕刻机。不过……我父亲曾经尝试过,以这台激光雕刻机为原型,研制出光刻机,不过他失败了。呵,他太天真了,光刻机和激光雕刻机,根本就不是一个级别的设备。”

接着,宋羽燃牵了牵唇角,似乎是用嘲讽般地语气说道;

“不过我父亲却一直在傻傻地钻研,直到生命的最后一刻,他还在想着这件事,他说,燃芯的初衷本来就是要实现技术的独立自主,如果生产燃芯的光刻机技术,还是垄断在外国人手里的话,那么燃芯即使做出来,也就没有任何意义了。”

宋羽燃的眼中闪过一抹悲凉的颜色,不过转瞬即逝。

然后,她抬起头,望着谭渊的眼睛,神色无比认真:

“谭渊,你觉得……”

“我们可以自己研制出一台真正的EUV光刻机么?”

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